关于陕西单晶炉的构成

提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成

 副室：主要是副室筒以及上下法兰组成

 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成

 炉筒：包括取光孔

 下炉筒：包括抽真空管道

 底座机架：全铸铁机架和底座

 坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成

 分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等

 氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件

 真空泵已经真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等

 电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

本段单晶炉的定义

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。