主要用于生长铌酸锂、碳酸锂等晶体。设备的特点是,上轴采用不锈钢镀铬硬轴,加热方式采用直流电阻或交流感应方式。生长过程通过称重方式实现晶体等径生长。
序号 |
参数 |
值 |
1 |
真空度 |
0.1Pa |
2 |
可充气体 |
氮气或氩气 |
3 |
温度 |
1600℃(±0.1℃) |
4 |
籽晶拉速范围 |
0.1~10mm/hr |
5 |
晶体升降快速范围 |
200 mm/min |
6 |
籽晶转速范围 |
0~20r/min |
7 |
坩埚快速范围 |
100mm/min |