锑化镓 EDR60单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器加热熔化多晶材料,直拉法生长单晶的设备,可用于生长锑化镓等半导体材料。
EDR60晶体生长炉分机械与电气控制两大部分,机械部分包括炉室、上下传动、水冷、真空、底座等部件;电气部分包括电控柜、加热功率柜,炉室是设备的关键部件,双层水冷结构,外表面喷砂处理,内辟为超低碳优质不锈钢,镜面抛光。确保炉室高真空、低泄漏、耐高温、耐腐腐蚀、变形小的优良性能,上、下传动均采用交流伺服电机驱动。
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锑化镓 EDR60单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器加热熔化多晶材料,直拉法生长单晶的设备,可用于生长锑化镓等半导体材料。
EDR60晶体生长炉分机械与电气控制两大部分,机械部分包括炉室、上下传动、水冷、真空、底座等部件;电气部分包括电控柜、加热功率柜,炉室是设备的关键部件,双层水冷结构,外表面喷砂处理,内辟为超低碳优质不锈钢,镜面抛光。确保炉室高真空、低泄漏、耐高温、耐腐腐蚀、变形小的优良性能,上、下传动均采用交流伺服电机驱动。
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