简述陕西单晶炉进行以下操作:
清炉、装炉
抽空、充气、预热
化料、引晶
生长细颈
扩肩及氮气的充入
转肩、保持及夹持器释放
收尾、停炉 清炉、装炉
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速, 坩埚跟踪速度与转速, 保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。
温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高,如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。