1、设备概述

磷、硼检炉是用于悬浮区熔提纯与悬浮单晶生长的装置。主要用于区熔硅的提纯和单晶生长，已用于工业生产半导体材料。

磷、硼检炉结构由两部分组成，即炉室和机械传动部分以及电气控制柜和高频发生器部分。炉室为一不锈钢水套式直立容器，可抽高真空或通入流动氩气。从炉室顶底端各插入上轴和下轴，上轴下端夹持一根多晶硅棒，下轴顶端夹持-一籽晶。炉室中央装设一单匝高频加热线圈。上下轴可分别旋转和升降。电气控制柜上装有指示仪表、调速旋钮、按钮开关。柜内装有电机控制系统等。高频发生器的频率为2~2.5MHz、 功率为30kw。炉子结构如图所示。

2、主要技术规格

TDL- FZ26A(P)型磷检炉、TDL-FZ26A(B)型硼检炉，是在惰性气体氛围中以中频电源加热，将稀土金属棒局部加热至熔融状态，使易溶于液相的杂质往熔区迁移方向移动(即顶端) ,而难溶于液相的杂质则沉积在熔区移动方向相反方向的固相(末端)，经多次区熔后,切去金属棒的两端，保留中间部分，再次区熔，以获得更高纯度的稀土金属的专用设备。