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详情内容 主要用在氟化物生产中的晶体生长设备。特点是，没有上传动，上部为钟罩结构，通过坩埚下降来实现晶体生长过程中的温度梯度变化。
设备机械性能
|
序号 |
参数 |
值 |
|
1 |
真空度 |
0.1Pa |
|
2 |
可充气体 |
氮气或氩气 |
|
3 |
温度 |
2200℃（±0.1℃） |
|
4 |
坩埚升速范围 |
0～10mm/hr |
|
5 |
坩埚快速范围 |
100mm/min |
