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晶体生长炉 泡生法蓝宝石炉 调试电柜中 下降炉
锗炉EZ80 EDR60单晶炉 单晶炉 锗单晶炉（80炉）
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锑化镓 EDR60 单晶炉 锑化物炉 锑化物炉
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硼检炉是采用刚性上下轴之间的同时运动，在高真空环境下，用高频电源对多晶硅加热熔化，用区熔法生长成品棒的设备。
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